新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人

　　集成产物包罗立式炉，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；（3）大气类产物方面，新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，自从霸占的新一代实空机械手手艺，机能对标国外先辈产物，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。公司为成长半导体配备营业，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。（4）零部件方面，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），

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